移動通信ネットワークの根幹をなす高速通信デバイスやBlue-Rayに用いられるLDも化合物半導体の領域です。化合物半導体の黎明期からお客様とともに歩んできた大陽日酸のMOCVD装置は高い評価をいただいています。
VRシリーズ
主な用途： GaAs/InP 研究開発用途
| Model | Type | Wafer face | Wafer | Material | |
|---|---|---|---|---|---|
| Reactor | Transfer tray | ||||
| VR-3000 | 3" vertical rotary susceptor | Face up | 2" x 1 or 3" x 1 | Quartz | Quartz |
HRシリーズ
主な用途： GaAs/InP 研究開発～量産用途
| Model | Type | Wafer face | Wafer | Material | |
|---|---|---|---|---|---|
| Reactor | Transfer tray | ||||
| HR-3000 | 3" horizontal rotary susceptor | Face up | 2" x 1 or 3" x 1 | Quartz | Quartz |
| HR-4000 | 4" horizontal rotary susceptor | Face up | 2" x 3 or 4" x 1 | Quartz | Quartz |
| HR-6000 | 8" horizontal rotary susceptor | Face down | 2" x 7 | Stainless steel | Carbon |
| HR-8000 | 3" vertical rotary susceptor | Face down | 2" x 11 or 3" x 6 or 4" x 3 or 8" x 1 | Stainless steel | Carbon |
| HR-10000 | 3" vertical rotary susceptor | Face down | 2" x 19 or 3" x 9 or 6" x 3 | Stainless steel | Carbon |
BRC・BMCシリーズ
BRCシリーズの主な用途： GaAs/InP 研究開発用途
BMCシリーズの主な用途： GaAs/InP 量産用途
| Model | Type | Wafer face | Wafer size | Application |
|---|---|---|---|---|
| Reactor | ||||
| BRC | Horizontal | Face down | 1"～4"x1 /2"x3 wafers | Research |
| BMC | Rotation & Revolution | Face down | 2"x42～6"x6 wafers | Product |
- BMCのリアクタコンセプト
(BMC 自公転 Face Down)
