大陽日酸の化合物半導体製造装置

大陽日酸の化合物半導体製造装置は、長年培ってきたガス・ハンドリング技術、超高真空技術などをもとに開発され、独自の技術により一貫製作されています。さらに高度化する半導体製造プロセスに最新技術で応え、信頼性と効率化を高めてまいります。

組織・取り組み

大陽日酸はお客様の多様なニーズにお応えするパートナーです。

つくば研究所

装置開発やエピの基礎研究拠点です。装置のデモンストレーションも可能です。

MOCVD装置事業の歴史

化合物半導体の草創期より30年以上にわたりお客様のニーズにお応えしてきました。

関連会社

高度な知識と経験を有するエンジニアが、装置の設計・製作・メンテナンスでお客様を支えます。