GaN MOCVD装置

R&D用の小型機から世界最高クラスの生産性を有する量産機まで、充実のラインナップでLEDやパワー半導体などのGaN系化合物半導体の開発・生産を支えます。

SRシリーズ

主な用途: GaN 研究開発~生産用途

Model Type Wafer Material
Reactor Transfer tray
SR-2000 2" horizontal rotary susceptor 2" x 1 Stainless Steel Quartz
SR-4000 4" horizontal rotary susceptor 2" x 3 or 4" x 1 Stainless Steel Quartz
SR-6000 6" horizontal rotary susceptor 2" x 6 or 3" x 3 or 6" x 1 Stainless Steel

URシリーズ

主な用途: GaN 量産用途

Model Type Wafer Material
Reactor Transfer tray
UR-25K Rotation & revolution susceptor 4"x 10 or 6"x 6 Stainless steel
UR-26K Rotation & revolution susceptor 8"x 6 or 6"x10 Stainless steel


UR-26K 8"x6 or 6"x10


UR-26K リアクター部